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ACE600 高真空镀膜仪
可任选离子溅射模式,碳丝蒸发镀碳模式,碳棒(热阻)蒸发模式,电子束蒸发模式,双溅射模式,溅射-碳丝模式,溅射-碳棒模式,溅射-电子束模式,双电子束模式,可兼容EM VCT500冷冻传输系统,可选辉光放电
专利设计脉冲式碳丝蒸发方式,可精确控制碳膜厚度
内置石英膜厚检测器,精确控制镀膜厚度,精度达0.1nm
全自动程序控制,自动完成抽真空、镀膜、放气等过程
触摸屏控制,简单方便
采用隔膜泵+涡轮分子泵,无油真空系统,真空度≤2*10-6mbr
溅射电流:0-150mA可调
方形样品仓专利设计,样品仓尺寸:200*150*195mm
样品台内置旋转,工作距离调节范围:30mm-100mm